一种弹性波谐振器、滤波器、多工器及射频前端电路
摘要:
本发明公开了一种弹性波谐振器、滤波器、多工器及射频前端电路。该弹性波谐振器包括依次叠层设置的蓝宝石衬底、功能膜层、钽酸锂压电层和叉指换能器;压电层与功能膜层的频率温度系数的极性相反;蓝宝石衬底采用不同的欧拉角时,压电层的归一化厚度与功能膜层的归一化厚度的比值与欧拉角中的第三个角的乘积满足不同的范围。通过设置衬底采用蓝宝石衬底,以及设置蓝宝石衬底采用不同的欧拉角时,压电层的归一化厚度与功能膜层的归一化厚度的比值与欧拉角中的第三个角的乘积满足不同的范围,可提高弹性波谐振器的性能,减弱或抑制弹性波谐振器在高频侧的高阶寄生体波的响应,提高弹性波谐振器的波速和机电耦合系数,简化制作工艺,降低成本。
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