本公开提供一种微机电系统加速度计及制备方法。具体地，微机电系统加速度计包括：依次层叠设置的第一基底、中间层和第二基底；所述中间层包括流道且所述第一基底和所述第二基底覆盖所述流道；其中，所述流道包括至少一加热区域；所述加热区域内设置发热元件；所述流道内设置多个热敏电阻，多个所述热敏电阻相对于所述加热区域对称设置；所述发热元件和所述热敏电阻至少一者远离所述中间层垂直方向的中间位置。这样的方案，确保位于中间层的热敏电阻和发热元件能够感应三轴加速度，降低工艺难度，且有助于减小器件尺寸、降低功耗。