一种膜片下压块密封垫生产工装
摘要:
本发明涉及半导体设备用阀体密封工装领域,公开了一种膜片下压块密封垫生产工装,其包括:下压柱、下压机构和下压联动机构;下压柱位于与机架固定的固定环内,并与液压机连接,由液压机为下压柱提供向下的动力;下压联动机构,设置在下压柱上,与下压柱配合,将下压动力传递至下压机构;下压机构,其一端与下压联动机构及下压柱的下端的外侧连接,另一端能与密封垫接触;其中,由下压联动机构与下压柱的配合,依次将密封垫和定位轴分别压入膜片下压块的凹槽内、以及密封垫顶部的盲孔内。本发明能一次性实现密封头组装过程中的两个分段压入工序,无需拆卸替换工装,有效的提高了组装效率。
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