发明公开
- 专利标题: 一种膜片下压块密封垫生产工装
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申请号: CN202411164468.4申请日: 2024-08-23
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公开(公告)号: CN118848522A公开(公告)日: 2024-10-29
- 发明人: 吕秀晨 , 张洪森 , 王保保 , 耿德占
- 申请人: 中科艾尔(北京)科技有限公司
- 申请人地址: 北京市通州区北京济技术开发区(通州)科创东五街2号10幢3至5层
- 专利权人: 中科艾尔(北京)科技有限公司
- 当前专利权人: 中科艾尔(北京)科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市通州区北京济技术开发区(通州)科创东五街2号10幢3至5层
- 代理机构: 北京卓泽知识产权代理事务所
- 代理商 李国华
- 主分类号: B23P21/00
- IPC分类号: B23P21/00 ; B23P19/00
摘要:
本发明涉及半导体设备用阀体密封工装领域,公开了一种膜片下压块密封垫生产工装,其包括:下压柱、下压机构和下压联动机构;下压柱位于与机架固定的固定环内,并与液压机连接,由液压机为下压柱提供向下的动力;下压联动机构,设置在下压柱上,与下压柱配合,将下压动力传递至下压机构;下压机构,其一端与下压联动机构及下压柱的下端的外侧连接,另一端能与密封垫接触;其中,由下压联动机构与下压柱的配合,依次将密封垫和定位轴分别压入膜片下压块的凹槽内、以及密封垫顶部的盲孔内。本发明能一次性实现密封头组装过程中的两个分段压入工序,无需拆卸替换工装,有效的提高了组装效率。