发明公开
CN118880249A 一种激光热蒸镀系统
审中-公开
- 专利标题: 一种激光热蒸镀系统
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申请号: CN202411229112.4申请日: 2024-09-03
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公开(公告)号: CN118880249A公开(公告)日: 2024-11-01
- 发明人: 李琳
- 申请人: 安徽外延科技有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市高新区云飞路66号天源迪科科技园8#1楼西
- 专利权人: 安徽外延科技有限公司
- 当前专利权人: 安徽外延科技有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市高新区云飞路66号天源迪科科技园8#1楼西
- 代理机构: 上海恩凡知识产权代理有限公司
- 代理商 潘林东
- 主分类号: C23C14/24
- IPC分类号: C23C14/24 ; C23C14/54
摘要:
本发明涉及一种激光热蒸镀系统,包括操作台、系统控制单元、操作屏幕和蒸镀模组,蒸镀模组设置在操作台上,操作屏幕设置在蒸镀模组侧面的操作台上,系统控制单元设置在操作台的侧面,系统控制单元、操作屏幕和蒸镀模组电性相连,蒸镀模组包括激光加热模块、红外测温模块、真空腔体、样品台、蒸发源炉和样品台运动控制模块,真空腔体设置在操作台上,激光加热模块和红外测温模块设置在真空腔体上,样品台运动控制模块间隔激光加热模块和红外测温模块设置在真空腔体的上方,真空腔体内由上至下设置样品台和蒸发源炉,样品台和蒸发源炉均与激光加热模块和红外测温模块相对应。本发明避免了获得极高温的技术瓶颈,应用场景丰富,可控性和稳定性好。
IPC分类: