一种激光热蒸镀系统
摘要:
本发明涉及一种激光热蒸镀系统,包括操作台、系统控制单元、操作屏幕和蒸镀模组,蒸镀模组设置在操作台上,操作屏幕设置在蒸镀模组侧面的操作台上,系统控制单元设置在操作台的侧面,系统控制单元、操作屏幕和蒸镀模组电性相连,蒸镀模组包括激光加热模块、红外测温模块、真空腔体、样品台、蒸发源炉和样品台运动控制模块,真空腔体设置在操作台上,激光加热模块和红外测温模块设置在真空腔体上,样品台运动控制模块间隔激光加热模块和红外测温模块设置在真空腔体的上方,真空腔体内由上至下设置样品台和蒸发源炉,样品台和蒸发源炉均与激光加热模块和红外测温模块相对应。本发明避免了获得极高温的技术瓶颈,应用场景丰富,可控性和稳定性好。
0/0