本发明涉及化纤织物表面缺陷检测技术领域，具体公开了一种化纤织物表面缺陷检测方法，首先收集大量化纤织物表面图片，并将无缺陷和有缺陷两种类型分类，使用概率扩散去噪模型训练，然后使用训练好的概率扩散去噪模型对有缺陷图进行重建，对重建图和原图进行对比获得缺陷定位和大小，形成热力图。本发明以非平衡热力学理论依据，通过去噪扩散来生成无缺陷图与缺陷图比较，以此达到准确检测缺陷位置和大小，从而克服因样本稀少导致过杀以及因缺陷的多样性导致错检的问题，能在复杂缺陷中达到高准确率。