本申请公开一种地电极，包括单件式本体，所述地电极还包括在所述单件式本体的第一和第二表面中的至少一个内形成的反应区和位于所述反应区中横向延伸的多个平面凹槽，各平面凹槽包括第一端和第二端，该地电极还包括临近第一端设置的进气微孔和临近第二端设置的出气结构，所述单件式本体还形成与所述进气微孔连通的第一气路流道以及冷却流流道，其中所述地电极还包括第一压力平衡结构，所述第一压力平衡结构包括在所述第一端连接、优选对称连接一个或多个平面凹槽的分流沟槽，所述分流沟槽延伸到高压放电组件的介质板包络范围之外以将相应平面凹槽内的反应气体分流到高压放电组件。