一种基于金属单颗粒的可拉伸压力传感器及其制备方法
摘要:
本发明提供了一种基于金属单颗粒的可拉伸压力传感器及其制备方法,属于传感器件技术领域。本发明所得基于金属单颗粒的可拉伸压力传感器包括第一弹性体封装层、中间弹性体支撑层、第二弹性体封装层;所述中间弹性体支撑层设有空洞,所述空洞内植入有金属颗粒;所述第一弹性体封装层设有第一电极层;所述第二弹性体封装层设有第二电极层;所述第一电极层设有第一离电弹性体薄膜,所述第二电极层设有第二离电弹性体薄膜;所述第一离电弹性体薄膜和第二离电弹性体薄膜分别与中间弹性体支撑层的金属颗粒接触。在处于拉伸状态时,也可以通过电容值变化精确地计算出外界施加的压力而不被拉伸产生的信号所干扰。
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