发明公开
- 专利标题： 一种物相可调控的亚稳相氧化镓外延层的制备方法和应用
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申请号： CN202410965720.5申请日： 2024-07-18
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公开(公告)号： CN118910732A公开(公告)日： 2024-11-08
- 发明人: 叶建东 , 郝景刚 , 马同川 , 戴磊 , 雒玉蓉 , 任芳芳 , 顾书林
- 申请人： 南京大学
- 申请人地址： 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
- 专利权人： 南京大学
- 当前专利权人： 南京大学
- 当前专利权人地址： 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
- 代理机构： 北京融智邦达知识产权代理事务所
- 代理商 冷欢
- 主分类号： C30B29/16
- IPC分类号： C30B29/16 ; H01L29/24 ; B05D7/24 ; B05B17/06 ; C30B29/20 ; C30B25/16
摘要：
本发明提供一种物相可调控的亚稳相氧化镓外延层的制备方法和应用，具体通过Mist‑CVD技术，对的蓝宝石衬底进行高温酸化处理，其表面粗糙度减小，各向异性条纹更加清晰，然后进行高温退火处理，制备出α‑Ga2O3与κ‑Ga2O3单晶外延层的方法。解决了α‑Ga2O3与κ‑Ga2O3同为亚稳相结构，化学气相沉积过程中温度窗口很窄，仅通过调控温度，会出现α‑Ga2O3与κ‑Ga2O3的混相结构外延层，难以控制晶相的问题。
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