- 专利标题: 一种应用于燃烧水洗式半导体废气处理设备的气体燃烧器
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申请号: CN202411110835.2申请日: 2024-08-14
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公开(公告)号: CN118912500A公开(公告)日: 2024-11-08
- 发明人: 官磊 , 王光玉 , 孔祥玲 , 许明 , 陶显贵
- 申请人: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省南通市通州区文荟路6号
- 专利权人: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司,中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
- 当前专利权人: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司,中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南通市通州区文荟路6号
- 代理机构: 南通国鑫智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 32606专利代理师顾新民
- 主分类号: F23D14/02
- IPC分类号: F23D14/02 ; F23D14/46 ; F23D14/62 ; F23G7/06
摘要:
本发明公开了一种应用于燃烧水洗式半导体废气处理设备的气体燃烧器,预混室内置有旋流叶片,预混室的出口与火盘相连接,火盘的中心位于燃烧器的轴线上,火盘带有作为气体出口的火孔,燃气由燃气管路进入燃烧器内部,燃气通过预混段通孔进入预混室,与从空气管路一进入的空气在预混室内进行混合,旋流叶片扰动燃气和空气并且形成预混气体,预混气体流动到火孔的出口并且被打火钩点燃,旋流叶片的表面设有产生旋转或扰动的结构,用于改变流体的流动状态,形成预混气体,预混气体流动到火孔的出口并被打火钩点燃,本发明可避免燃气不均造成的火焰偏心及燃烧不完全的问题,有效控制NOx生成,环保高效。