- 专利标题: 一种高可靠绝缘金丝键合方法
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申请号: CN202411007323.3申请日: 2024-07-25
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公开(公告)号: CN118943109A公开(公告)日: 2024-11-12
- 发明人: 胡郅贤 , 张乐银 , 方宇 , 陈龙鑫
- 申请人: 华东光电集成器件研究所
- 申请人地址: 安徽省蚌埠市汤和路2016号
- 专利权人: 华东光电集成器件研究所
- 当前专利权人: 华东光电集成器件研究所
- 当前专利权人地址: 安徽省蚌埠市汤和路2016号
- 代理机构: 兴东知识产权代理有限公司 34148专利代理师李静
- 主分类号: H01L23/49
- IPC分类号: H01L23/49 ; H01L21/60
摘要:
本发明提供了一种高可靠绝缘金丝键合方法,包括以下步骤:S1:选取待键合的两种芯片,将两种芯片粘接到管壳内部;S2:根据键合图纸,对管壳、芯片表面特征点进行图像识别,进行键合程序开发;S3:在其中一个芯片的焊盘上植金球;S4:从另一个芯片上的焊盘通过绝缘金丝进行连线,连线采用调节线弧模式压焊在金球上;S5:对焊接好的键合金丝进行可靠性检测。本发明基于绝缘金丝键合工艺,采用BSOB线弧配合调节线弧模式,确保键合后绝缘金丝强度满足测试要求,避免出现因绝缘金丝键合强度不足引起的器件失效。
IPC分类: