本发明公开了一种沟槽波导结构的片上稳频气室及其稳频方法，属于稳频激光器气室设计领域，本发明利用CMOS工艺平台，可以实现稳频气室的微型化，使得激光器系统的体积大幅减小；沟槽波导结构可以提供更好的光限制和更低的光损耗，使光更充分的与气体接触发生饱和吸收效应，从而提升激光的频率稳定性；相对于传统的稳频激光器气室，基于沟槽波导结构的气室可以通过集成制造来降低成本，使其更适合大规模生产和商业应用；沟槽波导结构可以与其他光学元件，如调制器、探测器等集成在同一芯片上，这有助于实现更高水平的功能集成和系统简化。