场效应晶体管终端结构和二极管器件
摘要:
本发明公开了一种场效应晶体管终端结构和二极管器件,涉及半导体技术领域,场效应晶体管终端结构包括设置于二极管器件漂移区上部的主结、场限环和沟槽结构,场限环为多个,主结设置于漂移区靠近二极管器件的有源器件的一端,沟槽结构设置于漂移区远离有源器件的一端,所有场限环均设置于主结与沟槽结构之间,沟槽结构内填充有绝缘介质。二极管器件包括相互连接的有源器件和场效应晶体管终端结构。本发明能够提高场效应晶体管终端结构的电场均匀性,进而能够提高二极管器件的耐压能力,且能够为二极管器件的绝缘设计提供较好的指导意义。
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