- 专利标题: 场效应晶体管终端结构和二极管器件
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申请号: CN202411080728.X申请日: 2024-08-08
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公开(公告)号: CN118969818A公开(公告)日: 2024-11-15
- 发明人: 吴鹏飞 , 孙帅 , 桑子涵 , 李学宝 , 赵志斌
- 申请人: 国网智能电网研究院有限公司 , 华北电力大学
- 申请人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号
- 专利权人: 国网智能电网研究院有限公司,华北电力大学
- 当前专利权人: 国网智能电网研究院有限公司,华北电力大学
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号
- 代理机构: 北京高沃律师事务所 11569专利代理师郑粟文
- 主分类号: H01L29/06
- IPC分类号: H01L29/06 ; H01L29/861
摘要:
本发明公开了一种场效应晶体管终端结构和二极管器件,涉及半导体技术领域,场效应晶体管终端结构包括设置于二极管器件漂移区上部的主结、场限环和沟槽结构,场限环为多个,主结设置于漂移区靠近二极管器件的有源器件的一端,沟槽结构设置于漂移区远离有源器件的一端,所有场限环均设置于主结与沟槽结构之间,沟槽结构内填充有绝缘介质。二极管器件包括相互连接的有源器件和场效应晶体管终端结构。本发明能够提高场效应晶体管终端结构的电场均匀性,进而能够提高二极管器件的耐压能力,且能够为二极管器件的绝缘设计提供较好的指导意义。
IPC分类: