一种MEMS电容差分传感器、麦克风
摘要:
本发明涉及一种MEMS电容差分传感器及麦克风,其中电容差分传感器包括:双层振膜、背板和基底,其中双层振膜与背板形成差分电容;所述双层振膜的端部沿周向上设有多个密封结构,所述多个密封结构用于将双层振膜的非固定部分密封,并使所述非固定部分形成低压区域;所述密封结构与所述双层振膜端部之间形成狭缝,所述狭缝自双层振膜的顶层振膜贯穿底层振膜直至基底;所述狭缝在远离所述双层振膜的一侧设有隔离槽,所述隔离槽将所述双层振膜的电极分隔为多个部分。本发明通过密封双膜结构,降低麦克风噪声,并提高振膜的有效面积。
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