本申请涉及一种MEMS电容式压力传感器及其制备方法，涉及微电子技术领域；压力传感器包括导电衬底；沿导电衬底所在平面方向上，压力传感器包括空腔区和环绕空腔区的边缘区；第一电极层，形成于导电衬底的表面，位于空腔区；第一电极层包括多个绝缘设置的环形第一电极；压力应变膜片，位于第一电极层远离导电衬底的一侧；第二电极层，形成于压力应变膜片朝向第一电极层的一侧，位于空腔区；第二电极层包括多个绝缘设置的环形第二电极；绝缘层，形成于导电衬底和压力应变膜片之间，位于边缘区；沿导电衬底所在平面中的中心点指向边缘区的方向上，第一电极和第二电极交替且间隔设置；有利于避免压力传感器使用时第一电极和第二电极误接触的问题。