单晶炉的硅料固液比检测方法、装置、设备及存储介质
Abstract:
本申请提供一种单晶炉的硅料固液比检测方法、装置、设备及存储介质。该方法包括:采用传感器检测硅料中处于硅液液面上方的硅块的第一体积,根据第一体积、硅液密度以及硅块密度,确定硅料中处于硅液液面下方的硅块的第二体积,基于第一体积、第二体积和硅料的总重量,确定硅料的固液比;该方法提高了单晶炉的硅料的固液比的检测精确度;该方法提高了固液比的检测精确性。
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