一种多偏置信号控制多列岛的GaN功率器件
Abstract:
本发明属于功率半导体技术领域,尤其是涉及一种多偏置信号控制多列岛的GaN功率器件。本发明在PGaN栅增强型GaN HEMT器件结构的基础上在AlGaN势垒层表面增加多列岛,并且由偏置电路控制多列岛。器件正常的导通与关断与PGaN栅增强型GaN HEMT无异,并且由于P岛的存在,可以有效扩展耗尽区,从而提升器件耐压,使得本发明相较于传统PGaN栅增强型GaN HEMT器件在耐压上有提升。通过陷阱与电子和空穴的密度或浓度动态变化来控制偏置电路,由数字化偏置控制的多列岛可以向器件注入载流子,通过可控制的载流子注入、陷阱俘获来实现器件工作中的电荷动态补偿,从而达到实现抑制动态导通电阻退化的效果。
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