本发明公开了一种用于高效产生高浓度臭氧并线性控制臭氧浓度的装置。该装置包括氧气发生器、平板型臭氧发生器、高压变压器、高频逆变器、冷却水供给器、以及控制信号发生器。高频逆变器通过将根据预定开/关时间比产生的高频高压脉冲经由高压变压器施加到平板型臭氧发生器上而线性控制臭氧浓度，该预定的开/关时间比对应于控制信号的电平。平板型臭氧发生器把平板型陶瓷用作电介质，从而优化了臭氧发生的效率以及臭氧发生器的寿命，于是同时使其尺寸减至最小。