发明授权
CN1225318C 氧化钒薄膜材料的制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 氧化钒薄膜材料的制备方法
- 专利标题（英）： Prepn process of vanadium oxide film material
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申请号： CN03115643.6申请日： 2003-03-04
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公开(公告)号： CN1225318C公开(公告)日： 2005-11-02
- 发明人: 陆卫 , 潘梅 , 陈效双 , 李志锋 , 李宁 , 季亚林 , 钟红梅
- 申请人： 中国科学院上海技术物理研究所
- 申请人地址： 上海市玉田路500号
- 专利权人： 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人： 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人地址： 上海市玉田路500号
- 代理机构： 上海智信专利代理有限公司
- 代理商 郭英
- 主分类号： B05D1/30
- IPC分类号： B05D1/30 ; H01L31/0256 ; H01L31/0392
摘要：
本发明公开了一种溶胶-凝胶制备氧化钒薄膜材料的方法，其特征在于它用乙酰丙酮氧钒替代了五价钒的醇氧盐(VO(Opr)3)，使制备好的溶胶稳定性好，可以长期存放，多次使用。另外此溶胶毒性相对较小，有利于操作人员的健康。用该溶胶可以方便地制备出性质均一、具有高度择优取向性的氧化钒薄膜。
公开/授权文献
- CN1436606A 氧化钒薄膜材料的制备方法 公开/授权日：2003-08-20