发明公开
CN1225459A 控制半导体制造设备的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 控制半导体制造设备的方法
- 专利标题（英）： Method for controlling semiconductor fabricating equipments
-
申请号： CN98118737.4申请日： 1998-08-26
-
公开(公告)号： CN1225459A公开(公告)日： 1999-08-11
- 发明人: 金成根 , 金秉完
- 申请人： 三星电子株式会社
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 三星电子株式会社
- 当前专利权人： 三星电子株式会社
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 柳沈知识产权律师事务所
- 代理商 马莹
- 优先权： 2894/98 1998.02.03 KR
- 主分类号： G05B15/00
- IPC分类号： G05B15/00
摘要：
一种控制半导体制造设备的方法,包括以下步骤:将从设备产生的维护数据与在主计算机中的预定参考数据进行比较;如果维护数据大于或等于参考数据,则显示警告信息和停止设备运行。因此,该方法可以防止由于设备的无维护连续运行造成的运行故障。主计算机自动地定期通知操作人员对设备进行维护的时间。因而,维护可以定期地迅速地进行。结果,设备可以保持在最佳运行状态。
公开/授权文献
- CN1131467C 控制半导体制造设备的维护的方法 公开/授权日：2003-12-17
