压力式指纹读取晶片及其制造方法
摘要:
本发明公开了一种压力式指纹读取晶片及其制造方法,包括有多个压力传感器,该晶片应用电荷分享来读取每一传感器上的信号,并结合集成电路的制造方法来制造传感器。压力传感器为一含有空气间隙的平行板感测电容,该感测电容包含一浮动上电极板及一固定下电极板。当手指接触施压于浮动上电极板时,改变了空气间隙的厚度进而改变电容值,而二维压力传感器阵列便可以读取手指施加的二维的压力分布,作为一指纹读取原理。本发明中设在指纹读取晶片之外的资料读取、逻辑控制、界面格式乃至于封装结构的引脚都完全与商用高密度快闪记忆体相容,因此可以将本发明的压力式指纹读取晶片作为资讯产品的镶入式指纹读取装置,或成为外挂式指纹读取装置。
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