表面电子显示器件及制造工艺
摘要:
用作显示元件的器件具有电子发射极和设置用于接收发射极发射的电子的阳极。阳极具有电阻率不同的表面部分,在最低电阻率部分提供电子汇集部分。优选实施例具有,横向场致发射电子发射极,并具有利用特别适于提供包括电子汇集部分的电阻率不同阳极部分的工艺形成的阳极。电子汇集部分优选设置在与器件的电子发射极的发射尖端横向隔开的位置。在具体的优选制造工艺中,通过淀积基层、淀积并构图具有开口的腐蚀停止层,以限定电子汇集部分,向下腐蚀各叠层到腐蚀停止层,加热基层和腐蚀停止层,形成包括一体的电子汇集部分和用于发光的阴极发光荧光体的阳极表面,从而形成阳极。该制造工艺适于制造用于制造平板显示器的多个显示单元器件。
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