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CN1244786C 蓄冷式冷冻机 失效 - 权利终止

蓄冷式冷冻机
摘要:
一种蓄冷式冷冻机,是可高速进行对被冷却对象的冷却和升温的蓄冷式冷冻机。具体的构成是包括:由压缩机(4a)和高压切换阀(4b)及低压切换阀(4c)构成的压力控制装置(4),和具有室温端部(1a)和低温端部(1b)的膨胀压缩部(1),和具有室温端部(2a)和低温端部(2b)的蓄冷部(2),并向被冷却对象进行热传导;还设有连接膨胀压缩部的低温端部(1b)和蓄冷部的低温端部(2b)、并延长到被冷却对象(7)中、或者延伸到与被冷却对象直接或间接接触的工作气体流动路径(8)。由此,可以大幅地提高冷冻机的运转率,能够广泛适用于对传感器类及半导体制造装置。
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