发明授权
- 专利标题: 测量机的光轴自动调节
- 专利标题(英): Optical axis automatic adjusting of measuring unit
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申请号: CN02108710.5申请日: 2002-03-29
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公开(公告)号: CN1246665C公开(公告)日: 2006-03-22
- 发明人: 上野政幸 , 高山抱梦
- 申请人: 宾得株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 宾得株式会社
- 当前专利权人: HOYA株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 李强
- 优先权: 172161/2001 2001.06.07 JP; 036300/2002 2002.02.14 JP
- 主分类号: G01B11/26
- IPC分类号: G01B11/26
摘要:
一种测量机,它对一个光轴进行自动调节,包括:用于观察一个对象的一个观察光学系统;一个光传送光学系统,它把从一个光源发出的一个光束传送至所述对象;一个偏离探测器;以及,一个光轴调节器。该偏离探测器,它探测与所述观察光学系统对应的一个第一光轴和与所述光传送光学系统对应的一个第二光轴之间的一个偏离。该光轴调节器,它对所述第一光轴和所述第二光轴中的至少一个进行自动调节以对所述偏离进行校正。
公开/授权文献
- CN1391085A 测量机的光轴自动调节 公开/授权日:2003-01-15