发明授权
CN1246666C 样品倾斜的测量方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 样品倾斜的测量方法
- 专利标题（英）： Sampler inclination measuring method
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申请号： CN03145491.7申请日： 2003-07-01
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公开(公告)号： CN1246666C公开(公告)日： 2006-03-22
- 发明人: 葛宗涛 , 小林富美男 , 田中公二彦
- 申请人： 富士能株式会社
- 申请人地址： 日本埼玉县
- 专利权人： 富士能株式会社
- 当前专利权人： 富士能株式会社
- 当前专利权人地址： 日本埼玉县
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 黄必青
- 优先权： 192764/2002 2002.07.01 JP
- 主分类号： G01B11/27
- IPC分类号： G01B11/27 ; G02B6/255 ; G02B6/42
摘要：
本发明涉及一种样品倾斜的测量方法，这种方法在于，使具有平面形状前端面的柱状件处于由夹具夹持的状态，相对干涉仪转动一个预定角度，测定两个转动位置中每个位置的所述干涉仪的基准面和前端面之间的相对角度，根据如此测得的两个角度，使用预定的算术表达式测量所述柱状件的轴线倾斜度。
公开/授权文献
- CN1470848A 样品倾斜的测量方法 公开/授权日：2004-01-28