改善了光学性能和电性能的功能薄膜
摘要:
提供的是一种包含一个过渡层的功能薄膜,该过渡层包含一种从铝和硅中选择的第一成分和至少一种从氧和氮中选择的第二成分,该第一成分和第二成分有随该薄膜的厚度渐变的含量梯度,渐变的含量梯度是如此分布的,以致在外部光线的入射方向上,第一成分的含量随薄膜的厚度逐渐增大,而第二成分的含量随薄膜的厚度逐渐减小。
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