电光装置及其制造方法和电子设备
Abstract:
在电光装置中,具备:在基板上在第1方向上延伸的数据线;在与上述数据线交叉的第2方向上延伸的扫描线;被配置为与上述数据线和上述扫描线的交叉区域对应的像素电极和薄膜晶体管;在从上述数据线算起的下层上形成,电连到上述薄膜晶体管和上述像素电极上的存储电容器;在从上述数据线算起的上层上形成的屏蔽层;把上述存储电容器的像素电位侧电容器电极和上述像素电极间电连起来,与上述数据线在同一层上形成的第1中继层;把上述存储电容器的固定电位侧电容器电极和上述屏蔽层间电连起来,与上述数据线在同一层上形成的第2中继层。此外,在上述数据线、上述第1中继层、上述第2中继层中,含有氮化膜。
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