发明授权
CN1258795C 静电驱动器及其调节方法以及使用该静电驱动器的设备
失效 - 权利终止
- 专利标题: 静电驱动器及其调节方法以及使用该静电驱动器的设备
- 专利标题(英): Electrostatic driver and its regulating method and device for using said electrostatic driver
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申请号: CN02150233.1申请日: 2002-11-05
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公开(公告)号: CN1258795C公开(公告)日: 2006-06-07
- 发明人: 秋叶朗 , 宇野圭辅 , 城岛正男 , 积知范 , 佐野浩二
- 申请人: 欧姆龙株式会社
- 申请人地址: 日本京都府
- 专利权人: 欧姆龙株式会社
- 当前专利权人: 欧姆龙株式会社
- 当前专利权人地址: 日本京都府
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 谷惠敏; 关兆辉
- 优先权: 340293/2001 2001.11.06 JP
- 主分类号: H01H59/00
- IPC分类号: H01H59/00
摘要:
通过抑制静电驱动器的接通电压和断开电压等工作电压特性的变动,防止向静电驱动器施加额定电压时,静电驱动器不接通,或断开驱动电压时,静电驱动器不断开的现象。相对置地设置固定电极30和可动电极38,在固定电极30的表面形成绝缘膜31。绝缘膜31以氮化膜(SiN)37为主要材料构成,在氮化膜37的正反两面形成氧化膜(SiO2)39、48。在绝缘膜31的上表面与可动电极38对置的区域设置有多个突起32。绝缘膜31的带电量主要由氧化膜48的膜厚决定,使用氮化膜47是为确保耐压特性等所需的必要膜厚。
公开/授权文献
- CN1417826A 静电驱动器及使用该驱动器的静电微动继电器等其他设备 公开/授权日:2003-05-14