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发明授权
CN1261276C 激光孔加工方法 失效 - 权利终止

激光孔加工方法
摘要：
一种对具有多层的板状体进行的激光孔加工方法，具有如下工序：开孔工序，该开孔工序由产生层间剥离力小于层间紧贴力的能量的激光脉冲列在所有的层上开孔；整形工序，该整形工序中的激光脉冲的能量大于开孔工序中的激光脉冲的能量，并藉此对贯通后的孔形状进行整形。开孔工序中的激光脉冲与整形工序中的激光脉冲之间的间隔为200μs以上。由于该孔成为在照射具有贯通的孔形状整形用的较大能量的激光时而产生的气体的排出道，故可抑制加工孔内的压力上升而防止层间剥离。
摘要（英）：

When drilling a multi layered sheet-like material, drilling is first made with pulses having energy that generates an inter-layer pull-off force smaller than the adhesion force between the layers. Then pulses with higher energy are radiated for trimming the shape of the holes, and thus through-holes having a desired shape are drilled without causing delamination of the layers.

公开/授权文献
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