发明公开
- 专利标题: 垂直舟生长工艺用炉料及其应用
- 专利标题(英): Charge for vertical boat growth process and use thereof
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申请号: CN98811320.1申请日: 1998-11-20
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公开(公告)号: CN1279732A公开(公告)日: 2001-01-10
- 发明人: 肖留 , 朱萌
- 申请人: 美国爱克斯陶尔技术公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 美国爱克斯陶尔技术公司
- 当前专利权人: AXT有限公司,北京通美晶体技术有限公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 上海专利商标事务所
- 代理商 徐泰
- 优先权: 08/975,746 1997.11.21 US
- 国际申请: PCT/US1998/24849 1998.11.20
- 国际公布: WO1999/27164 EN 1999.06.03
- 进入国家日期: 2000-05-19
- 主分类号: C30B11/00
- IPC分类号: C30B11/00 ; C30B29/00
摘要:
在砷化镓单晶锭的垂直舟生长中,将预定数量的粉末石墨包含在炉料中,以直接确立生长晶锭中有关的预计目标电学特征。电学特征相应于生长晶锭中的碳的浓度。
公开/授权文献
- CN1303263C 垂直舟生长工艺用炉料及其应用 公开/授权日:2007-03-07
IPC分类: