Invention Grant
CN1280672C 感光化合物，感光树脂，和感光组合物
失效 - 权利终止
- Patent Title: 感光化合物，感光树脂，和感光组合物
- Patent Title (English): Photosensitive compound, resin and composition
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Application No.: CN03108358.7Application Date: 2003-03-28
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Publication No.: CN1280672CPublication Date: 2006-10-18
- Inventor: 涩谷彻 , 栗原正宪 , 竹田美音子 , 山田一雄
- Applicant: 东洋合成工业株式会社
- Applicant Address: 日本千叶县
- Assignee: 东洋合成工业株式会社
- Current Assignee: 东洋合成工业株式会社
- Current Assignee Address: 日本千叶县
- Agency: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- Agent 邓毅
- Priority: 097971/2002 2002.03.29 JP
- Main IPC: G03F7/004
- IPC: G03F7/004 ; G03F7/038 ; G03F7/00
Abstract:
本发明提供含有叠氮基团适于在短波长光下曝光的感光化合物；包含感光化合物的感光树脂；和包含感光化合物或感光树脂的感光组合物。该感光化合物包含由通式(1)表示的感光单元：其中R选自如下基团，右中式X选自如下基团，右下式和每个Y和Z表示氢原子、烷基、含缩醛基团的烷基、芳基、芳烷基、或包含碱形成氮原子的取代基，其中R和X的至少一个包含叠氮基。
Public/Granted literature
- CN1448791A 新颖感光化合物，感光树脂，和感光组合物 Public/Granted day:2003-10-15
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