内部玻璃化SiO2坩埚的制造方法
摘要:
一种制造无裂痕、内部玻璃化SiO2坩埚的方法,在该方法中,利用CO2激光束的焦斑烧结无定形、开孔SiO2坯体坩埚,其中在烧结过程中,使焦斑相对于坩埚移动,烧结作用利用点状焦斑自该SiO2坯体坩埚的上内边缘开始,并继续使点状焦斑扩大至预期焦斑尺寸,焦斑扫过SiO2坯体坩埚的上内边缘直至上内边缘完全玻璃化,然后焦斑移至SiO2坯体坩埚内。
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