提供一种可提高放电间隙冷却性能并形成产生纯净臭氧的放电间隙的臭氧发生器。它具有；平板状的低压电极(7)；与低压电极主表面相对的平板状的高压电极(3)；设置在低压电极(7)与高压电极(3)之间的平板状的电介质(5)及用于在叠层方向上形成厚度小的放电间隙(6)的衬垫；以及在高压电极(3)的内部形成与高压电极(3)绝缘的冷却水通路(2c)的高压电极冷却单元(2)，使得在低压电极(7)与高压电极(3)之间施加交流电压并在注入氧气的放电间隙(6)产生放电，产生臭氧气体。