发明公开
- 专利标题: 可靠的、模块化的、制造质量的窄带KrF激子激光器
- 专利标题(英): Reliable, Modular, production quality narrow-band KrF excimer laser
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申请号: CN99803585.8申请日: 1999-02-16
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公开(公告)号: CN1295729A公开(公告)日: 2001-05-16
- 发明人: D·S·诺尔斯 , J·H·阿佐拉 , H·A·贝萨奥克里 , P·P·达斯 , A·叶尔绍夫一世 , T·尤哈兹 , R·M·内斯 , R·G·奥扎斯基 , W·N·帕特罗 , D·A·罗斯韦尔 , R·L·桑德斯特伦 , R·C·乌佳导斯基 , T·A·沃森 , I·V·福缅科夫
- 申请人: 西默股份有限公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 西默股份有限公司
- 当前专利权人: 西默有限公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 上海专利商标事务所
- 代理商 李玲
- 优先权: 09/034,870 1998.03.04 US; 09/041,474 1998.03.11 US
- 国际申请: PCT/US1999/03189 1999.02.16
- 国际公布: WO1999/45613 EN 1999.09.10
- 进入国家日期: 2000-09-04
- 主分类号: H01S3/22
- IPC分类号: H01S3/22 ; H01S3/097 ; H01S3/08
摘要:
一种可靠的、模块化的、制造质量的窄带KrF激子激光器,能够产生1000Hz,带宽约0.6pm或更小的10mJ激光脉冲。本发明特别适合在集成电路的平板印刷中长期昼夜工作。在现有技术激光器上的改进包括:单个上游预电离器管(56)和隔音板。较佳实施例包括降低氟的浓度;阳极支撑条的形状,有利于降低在鼓风机的轴承上的空气动力学反作用力;经修改的脉冲功率系统提供较快的脉冲上升时间;反射率明显地增加的输出耦合器(65);带CaF棱镜光束扩展器的线变窄模块;更正确的波长计;用新的、改进的脉冲能量算法编程的激光器计算机控制器。
公开/授权文献
- CN100397732C 模块化的窄带KrF准分子激光器 公开/授权日:2008-06-25