发明授权
CN1300562C 扫描探针显微镜中压电执行器模型参数标定和非线性校正方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 扫描探针显微镜中压电执行器模型参数标定和非线性校正方法
- 专利标题(英): Model parameter calibrating and nontinear correcting method of piezoelectric actuator in scanning probe microscope
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申请号: CN200410016561.7申请日: 2004-02-26
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公开(公告)号: CN1300562C公开(公告)日: 2007-02-14
- 发明人: 费敏锐 , 黄自元 , 李荣庆 , 刘辉 , 林学海
- 申请人: 上海大学 , 上海爱建纳米科技发展有限公司
- 申请人地址: 上海市闸北区延长路149号
- 专利权人: 上海大学,上海爱建纳米科技发展有限公司
- 当前专利权人: 上海大学,上海爱建纳米科技发展有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市闸北区延长路149号
- 代理机构: 上海上大专利事务所
- 代理商 何文欣
- 主分类号: G01N13/10
- IPC分类号: G01N13/10
摘要:
本发明涉及一种扫描探针显微镜中的压电执行器参数标定和非线性校正方法。本发明提出的方法是:(1)扫描标准光栅样品,获得其SPM图像;(2)利用压电执行器模型参数标定软件获取压电执行器模型参数,(3)进行非线性在线校正前的数据转换,(4)在线进行非线性校正。本发明基于标准光栅样品SPM图像的压电执行器模型参数标定软件,以获得压电执行器模型参数,进行压电执行器非线性校正,消除SPM图像特征扭曲,并大为降低SPM产品标定的复杂程度。
公开/授权文献
- CN1560593A 扫描探针显微镜中压电执行器模型参数标定和非线性校正方法 公开/授权日:2005-01-05