发明授权
CN1320712C 半导体激光器件及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 半导体激光器件及其制造方法
- 专利标题(英): Semiconductor laser device and manufacturing method therefor
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申请号: CN200410054490.X申请日: 2004-07-22
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公开(公告)号: CN1320712C公开(公告)日: 2007-06-06
- 发明人: 和田一彦 , 宫嵜启介 , 森本泰司 , 上田祯亮 , 辰巳正毅
- 申请人: 夏普株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 夏普株式会社
- 当前专利权人: 夏普株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 李晓舒; 魏晓刚
- 优先权: 277292/03 2003.07.22 JP
- 主分类号: H01S5/40
- IPC分类号: H01S5/40 ; H01S5/00
摘要:
本发明公开了一种半导体激光器件及其制造方法。首先形成在n型GaAs缓冲层(22)上的第一半导体激光器(39)的n型AlGaAs包层由第二n型AlxGa1-xAs(x=0.500)包层(23)和第一n型AlxGa1-xAs(x=0.425)包层(24)的两层结构构成。利用这种布置,在通过利用HF蚀刻位于n型GaAs缓冲层(22)侧的第二n型包层(23)而进行的去除中,因为第二n型包层(23)的Al混晶比x为0.500,所以不出现模糊,允许达到镜面蚀刻。而且借助对GaAs的选择性,蚀刻在n型GaAs缓冲层(22)处自动停止。甚至在上述情况下,由于位于AlGaAs多量子阱有源层(25)侧的第一n型包层(24)的Al混晶比x为0.425,因此通过使垂直辐射角θ1等于36度,可以提高椭圆度。
公开/授权文献
- CN1578031A 半导体激光器件及其制造方法 公开/授权日:2005-02-09