半导体激光器件及其制造方法
摘要:
本发明公开了一种半导体激光器件及其制造方法。首先形成在n型GaAs缓冲层(22)上的第一半导体激光器(39)的n型AlGaAs包层由第二n型AlxGa1-xAs(x=0.500)包层(23)和第一n型AlxGa1-xAs(x=0.425)包层(24)的两层结构构成。利用这种布置,在通过利用HF蚀刻位于n型GaAs缓冲层(22)侧的第二n型包层(23)而进行的去除中,因为第二n型包层(23)的Al混晶比x为0.500,所以不出现模糊,允许达到镜面蚀刻。而且借助对GaAs的选择性,蚀刻在n型GaAs缓冲层(22)处自动停止。甚至在上述情况下,由于位于AlGaAs多量子阱有源层(25)侧的第一n型包层(24)的Al混晶比x为0.425,因此通过使垂直辐射角θ1等于36度,可以提高椭圆度。
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