二氧化钛光催化空气净化薄膜及其制备方法
摘要:
一种二氧化钛光催化空气净化薄膜及其制备方法,其特征是利用磁控溅射在玻璃、金属、陶瓷等载体上形成二氧化钛光催化空气净化薄膜,使用纯金属钛靶材和氧气的直接合成,并利用弧抑制电源防止纯金属钛靶材的中毒。其中二氧化钛薄膜形成的晶粒可沿载体的垂直方向或水平方向成长,晶粒粒径为10~100纳米,薄膜的厚度为20~100纳米。二氧化钛薄膜是由单一锐钛矿相组成或单一金红石相组成或是由锐钛矿相和金红石相的混合相组成,其中锐钛矿占50%~98%,金红石相占2%~50%。这种薄膜可以有效的对有害气体如甲醛、苯酚等产生降解作用。
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