改善了光学性能和电性能的功能薄膜
摘要:
提供的是一种包含一个过渡层的功能薄膜,该过渡层包含有SiO作为介电材料的第一成分和至少一种选自铝(Al)、银(Ag)、硅(Si)、锗(Ge)、钇(Y)、锌(Zn)、锆(Zr)、钨(W)和钽(Ta)的第二成分,第一和第二成分有随薄膜厚度渐变的含量梯度。
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