发明公开
CN1407334A 检测设备和器件制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 检测设备和器件制造方法
- 专利标题（英）： Manufacture for test apparatus and parts
-
申请号： CN02141674.5申请日： 2002-09-10
-
公开(公告)号： CN1407334A公开(公告)日： 2003-04-02
- 发明人: 畠山雅规 , 村上武司 , 佐竹徹 , 野路伸治 , 长滨一郎太 , 山崎裕一郎
- 申请人： 株式会社荏原制作所 , 株式会社东芝
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 株式会社荏原制作所,株式会社东芝
- 当前专利权人： 株式会社荏原制作所,株式会社东芝
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 蒋世迅
- 优先权： 273432/2001 2001.09.10 JP
- 主分类号： G01N23/18
- IPC分类号： G01N23/18
摘要：
一种检测设备，用于检测样本表面上精细几何图形，其中辐射波束照射到不同于大气的差异环境中放置的样本，并利用传感器检测从该样本上射出的二次电子，其中传感器放置在差异环境之内，处理来自传感器检测信号的处理装置放置在差异环境之外，而传输装置发射来自传感器的检测信号到处理装置。
公开/授权文献
- CN1310025C 检测设备和器件制造方法 公开/授权日：2007-04-11
