发明公开
CN1422978A 一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具
- 专利标题(英): Clamp of contactless fixture mode for cavity surface evaporating coating of semiconductor laser
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申请号: CN02151295.7申请日: 2002-12-13
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公开(公告)号: CN1422978A公开(公告)日: 2003-06-11
- 发明人: 吴根柱 , 齐鸣 , 李爱珍 , 张永刚
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海智信专利代理有限公司
- 代理商 潘振甦
- 主分类号: C23C14/50
- IPC分类号: C23C14/50 ; H01S5/10
摘要:
本发明涉及一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具,其特征在于采用了非接触固定方式,避免产生机械损伤。该夹具由一个不锈钢板上开有宽度为0.15-0.25mm,间距为2-3mm的多条狭缝而制成。使用时只要把解理条放进狭缝里即可固定。由于狭缝宽度大于解理条厚度而小于解理条宽度,同时采用一种不锈钢板下设有网格的方法,保证解理条从狭缝里掉不下来,所以解理条装在狭缝里始终位于竖立状态,并且端面保持水平朝下方向。由于一个夹具上有多条狭缝,所以由一个夹具一次可以装配好多解理条,并且解理条装卸过程非常容易。另外也很方便实施两个腔面蒸镀,本发明提供的非接触式固定的夹具结构简单、操作简便、安全可靠、加工成本低、使用寿命长、非常适合于批量生产。
公开/授权文献
- CN1198954C 一种用于半导体激光器腔面蒸镀的非接触固定方式的夹具 公开/授权日:2005-04-27