发明公开
CN1474244A 精密气体配比器
无效 - 撤回
- 专利标题： 精密气体配比器
- 专利标题（英）： Precision gas proportioning device
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申请号： CN03129628.9申请日： 2003-07-03
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公开(公告)号： CN1474244A公开(公告)日： 2004-02-11
- 发明人: 包晔峰 , 周昀 , 吴毅雄 , 曹平 , 林观志 , 施成源
- 申请人： 上海交通大学 , 上海冠达尔钢结构有限公司
- 申请人地址： 上海市华山路1954号
- 专利权人： 上海交通大学,上海冠达尔钢结构有限公司
- 当前专利权人： 上海交通大学,上海冠达尔钢结构有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市华山路1954号
- 代理机构： 上海交达专利事务所
- 代理商 王锡麟
- 主分类号： G05D27/02
- IPC分类号： G05D27/02 ; G05D7/06 ; G05D21/00
摘要：
一种精密气体配比器，属于仪器仪表领域。本发明主要包括：气体进口、气体流量及配比控制系统、气体混合器和混合气体出口，气体进口与气体流量及配比控制系统相连，气体流量及配比控制系统与气体混合器相连，气体混合器与混合气体出口相连，气体流量及配比控制系统中包含两路或者两路以上气体流量控制系统。本发明对一些需精密控制混合体中各组分气体或对混合气体中某些少量混合比必须精确控制的应用场合，如微电子加工、精密分析、特种焊接、材料净化，都可以提供可靠配比的混合气体，有利于工艺参数调整与稳定，准确地保证工作目的达到。
