本发明的图像缺陷检查装置包括：模板图像产生部，用于根据参考图像数据产生模板图像；对应图像提取部，用于从用于检查的扫描图像的数字数据中提取位于与模板图像对应的位置处的预定图像；数据嵌入部，用于把希望的相同图形数据嵌入模板图像和由对应图像提取部提取的图像；正规化相关值计算处理单元，用于根据被嵌入了图形数据的模板图像和所提取图像来获得一个正规化相关系数；和缺陷判断部，用于通过把由正规化相关值计算处理单元获得的正规化相关系数与预定阈值进行比较以获得二者之间的大小关系，来判断是否存在缺陷。