发明公开
CN1489209A 半导体装置
无效 - 撤回
- 专利标题: 半导体装置
- 专利标题(英): Semiconductor device
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申请号: CN03142473.2申请日: 2003-06-10
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公开(公告)号: CN1489209A公开(公告)日: 2004-04-14
- 发明人: 柴田润
- 申请人: 三菱电机株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 三菱电机株式会社
- 当前专利权人: 三菱电机株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 杨凯; 王忠忠
- 优先权: 295175/2002 2002.10.08 JP
- 主分类号: H01L23/522
- IPC分类号: H01L23/522 ; H01L23/48 ; H01L21/60 ; H01L21/768 ; H01L21/28
摘要:
本发明目的在于,防止在用选项设定焊盘的电压来设定功能与状态(以下称为选项)的半导体装置的选项设定时,层间膜的裂纹或焊盘剥离。本发明的半导体装置的半导体基片的主面上设有选项设定部分10,其中,用以设定半导体装置的选项的、其外周边缘部分被表面保护膜11a覆盖的选项设定焊盘5C和用以供给固定电位的、其外周边缘部分被保护绝缘膜11a覆盖的固定电位焊盘5D,隔着表面保护膜11b相邻接。半导体装置的选项设定,通过是否设置覆盖选项设定焊盘5C、固定电位焊盘5D以及表面保护膜11a、11b而形成的柱形凸起15加以实现。
IPC分类: