发明公开
CN1489704A 电子束检测器、扫描型电子显微镜、质量分析装置及离子检测器
失效 - 权利终止
- 专利标题： 电子束检测器、扫描型电子显微镜、质量分析装置及离子检测器
- 专利标题（英）： Electron beam detector, scaning type elctronic microscope, mass spectrometer and ion detector
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申请号： CN02804285.9申请日： 2002-01-30
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公开(公告)号： CN1489704A公开(公告)日： 2004-04-14
- 发明人: 近藤稔 , 永井俊光 , 木船淳
- 申请人： 滨松光子学株式会社
- 申请人地址： 日本静冈县
- 专利权人： 滨松光子学株式会社
- 当前专利权人： 滨松光子学株式会社
- 当前专利权人地址： 日本静冈县
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 杨凯; 王忠忠
- 优先权： 24421/2001 2001.01.31 JP
- 国际申请： PCT/JP2002/00726 2002.01.30
- 国际公布： WO2002/061458 JA 2002.08.08
- 进入国家日期： 2003-07-29
- 主分类号： G01T1/20
- IPC分类号： G01T1/20 ; H01J37/244 ; H01J49/02 ; H01J43/24
摘要：
在电子束检测器中，通过光波导将化合物半导体基片的荧光出射表面与光检测器的光入射面光学耦合，并将化合物半导体基片与光检测器物理连接，从而将化合物半导体基片与光检测器连为一体。将入射到化合物半导体基片的电子变换为荧光时，光波导将该荧光导向光检测器，通过光检测器检测荧光来检测入射的电子束。
公开/授权文献
- CN1307432C 电子束检测器、扫描型电子显微镜、质量分析装置及离子检测器 公开/授权日：2007-03-28