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滑动缝隙式热处理装置
摘要:
提供一种滑动缝隙式热处理装置,该热处理装置(1),是以固定设在热处理室(2)内的支撑体支撑多层LCD玻璃基板等工件(W)、并从开口面(1a)逐个取放进行热处理的装置,其中作为多层在本例中为31层,其包括具有411~416的6个缝隙(41)的遮蔽板(4)、分成6扇设置而可开闭各自的缝隙的小门(5)、遮蔽板的升降机构(6)、及小门的开闭机构(7)。这种滑动缝隙式热处理装置,通过例如仅打开与取放工件W的缝隙416相对应的小门56并封闭其他的51~55,而能够一边防止热处理室(2)的热气泄漏一边取放工件。因为缝隙仅升降工件5层份,所以热处理装置的高度不会变高。
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