发明公开
CN1577102A 用于平板显示器的像差可校正大视场投影光学系统
失效 - 权利终止
- 专利标题： 用于平板显示器的像差可校正大视场投影光学系统
- 专利标题（英）： Large field of view protection optical system with aberration correctability for flat panel displays
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申请号： CN200410061767.1申请日： 2004-06-30
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公开(公告)号： CN1577102A公开(公告)日： 2005-02-09
- 发明人: 罗伯特·D·哈恩德 , 帕特里克·得·加格 , 桂程群
- 申请人： ASML控股股份有限公司
- 申请人地址： 荷兰费尔德霍芬
- 专利权人： ASML控股股份有限公司
- 当前专利权人： ASML控股股份有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰费尔德霍芬
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 蒋世迅
- 优先权： 60/483,220 2003.06.30 US; 10/831,210 2004.04.26 US
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
一种用于制作平板显示器(FPD)的曝光系统，包括适宜支承掩模版的掩模版台。一个基板台，适宜支承基板。一个反射光学系统，适宜把掩模版成像在基板上。该反射光学系统包括：包含第一反射镜及第二反射镜的主反射镜，和副反射镜。当把掩模版的像通过第一反射镜、副反射镜、和第二反射镜的反射，投射在基板上时，该反射光学系统有足够的自由度用于调整和校正三级像差。
公开/授权文献
- CN100587601C 用于平板显示器的像差可校正大视场投影光学系统 公开/授权日：2010-02-03
IPC分类:
