用于剂量形式制造的系统、方法和装置
摘要:
一用来将基底从第一部位传送到第二部位的装置,该装置包括:一柔性的传输装置;多个安装至所述传输装置上的传送单元,所述传送单元能保持所述基底;一凸轮轨道,它形成一在所述第一部位和第二部位之间的路径;以及沿所述凸轮轨道驱动所述传输装置的装置。
公开/授权文献
0/0