使用外部气相沉积法制造光纤预制棒的方法和设备
摘要:
本发明公开了使用外部气相沉积(OVD)法制造光纤预制棒的方法和设备,其中可以在OVD设备中连续地进行沉积和烧结处理。所述的制造设备包括垂直的机架和安装在该机架上端的烧结装置,该烧结装置用于烧结沉积在圆形靶棒上的包层。该烧结装置是氢/氧焰喷灯或是采用了加热操作中不产生水或羟基(OH)的热源的加热器。所述的制造方法包括:沉积步骤,沉积喷灯在往复运动的同时在所述的圆形靶棒上沉积包层;和烧结步骤,在沉积有包层的圆形靶棒延伸穿过所述烧结装置的状况下,所述烧结装置在往复运动的同时烧结所述的包层。
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