空心金属方柱压电片复合超声微电机
摘要:
本发明涉及空心金属方柱压电片复合超声微电机,属于超声应用领域,由激励超声振动的定子,输出力矩的转子或动子以及给转子或动子加压的预压力机构组成,所述定子主要由激励振动的空心金属方柱和压电陶瓷片组成的复合元件以及匹配块构成,所述压电陶瓷片粘结在空心金属方柱的两个或四个侧面上,沿着厚度方向极化,该压电陶瓷片接激励电极的表面涂有供极化和激励用的外电极。本发明设计的超声电机具有压电陶瓷易于极化,极化工艺简单且能够保证激励电场垂直于极化方向,效率较高的优点。本发明可以促进了超声电机的微型化,尺寸可以小到0.3mm。将在生物、医疗、微机械、国防科技等方面有着广阔的应用前景。
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