生物传感器、薄膜电极形成方法、定量装置及定量方法
摘要:
提供一种生物传感器、薄膜电极形成方法、定量装置及定量方法。该薄膜电极形成方法,在绝缘性基板的表面上形成薄膜电极,其特征在于具有:在真空气氛中,通过使被激励的气体冲击上述绝缘性基板的表面,使上述绝缘性基板的表面成为粗糙面的粗糙面形成工序,以及然后在成为粗糙面的上述绝缘性基板的表面上形成由导电性物质构成的作为薄膜电极的导电层的导电层形成工序。
0/0