发明公开
- 专利标题: 生物传感器、薄膜电极形成方法、定量装置及定量方法
- 专利标题(英): Biosensor, method of forming thin-film electrode, and method and apparatus for quantitative determination
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申请号: CN200510004371.8申请日: 2000-11-14
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公开(公告)号: CN1632553A公开(公告)日: 2005-06-29
- 发明人: 宫﨑正次 , 德永博之 , 藤原雅树 , 山西永吏子 , 德野吉宣
- 申请人: 松下电器产业株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人: 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 岳耀锋
- 优先权: 324551/1999 1999.11.15 JP; 111255/2000 2000.04.12 JP; 113754/2000 2000.04.14 JP; 124394/2000 2000.04.25 JP; 128249/2000 2000.04.27 JP; 130158/2000 2000.04.28 JP
- 分案原申请号: 008037566
- 主分类号: G01N27/327
- IPC分类号: G01N27/327 ; G01N27/403 ; G01N27/333
摘要:
提供一种生物传感器、薄膜电极形成方法、定量装置及定量方法。该薄膜电极形成方法,在绝缘性基板的表面上形成薄膜电极,其特征在于具有:在真空气氛中,通过使被激励的气体冲击上述绝缘性基板的表面,使上述绝缘性基板的表面成为粗糙面的粗糙面形成工序,以及然后在成为粗糙面的上述绝缘性基板的表面上形成由导电性物质构成的作为薄膜电极的导电层的导电层形成工序。