Invention Publication
CN1638607A 图案的形成装置及方法、导电膜布线、器件的制造方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 图案的形成装置及方法、导电膜布线、器件的制造方法
- Patent Title (English): Pattern forming apparatus and method, mfg. method of conducting film wiring and electronic device
-
Application No.: CN200510003980.1Application Date: 2003-04-15
-
Publication No.: CN1638607APublication Date: 2005-07-13
- Inventor: 长谷井宏宣
- Applicant: 精工爱普生株式会社
- Applicant Address: 日本东京
- Assignee: 精工爱普生株式会社
- Current Assignee: 精工爱普生株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 李香兰
- Priority: 2002－113753 2002.04.16 JP; 2003－091044 2003.03.28 JP
- The original application number of the division: 03110438X
- Main IPC: H05K3/14
- IPC: H05K3/14 ; H01L21/60 ; B05D1/00
Abstract:
本发明提供一种使边缘部形状良好并且可以实现加宽的图案的形成方法以及图案形成装置。该图案形成装置，通过喷出装置喷出液滴状态的液体材料，在基板上将该液滴配置成线状。在基板上将多个液滴配置成线状，在基板上形成多个线状图案之后，在这些多个线状图案之间配置多个液滴，使这些多个相邻线状图案之间形成一体化。
Public/Granted literature
- CN100525584C 图案的形成装置及形成方法、器件的制造方法 Public/Granted day:2009-08-05
Information query
